텅스텐 산화물 표면 수정
산화 텅스텐 표면 수정은 친수성, 생체 적합성, 정전기 방지 및 염색 및 기타 특성과 같은 텅스텐 산화물 또는 그 제품의 원래 성능을 유지한다는 전제하에 표면에 새로운 특성을 부여하는 것을 의미합니다. 표면 화학 반응, 표면 그 래프 팅 (표면 이식) 및 표면 합성 방법 등으로 대략 요약 될 수있는 표면 개질 방법에 대한 많은보고가있다.
텅스텐 트리 옥 시드 가스 센서의 표면 변형
텅스텐 삼산화화물 가스 센서는 일반적으로 두 가지 형태의 얇은 필름과 두꺼운 필름을 가지고 있으며 표면 수정 방법도 다릅니다.
삼산화 텅스텐 박막의 표면 변형 : 먼저 깨끗하게 닦습니다. Al2O3기판; 아르곤 분위기 하에서, 인터 디지탈 전극의 기판 상에 삼산화 텅스텐 막을 스퍼터링하기 위해, 타겟으로서 백금, 텅스텐 (스퍼터링 텅스텐은 산소를 첨가 할 필요가 있음)을 각각 취하여; 아르곤 분위기 하에서 금속층을 스퍼터링하기 위해 티타늄, 니켈, 몰리브덴, 바나듐, 백금, 금 또는 팔라듐의 타겟을 준비한다 WO 3 박막층; 공기 중에서 열처리하여 표면 개질 된 산화 텅스텐 박막 가스 센서를 얻는다. 이 표면 개질 된 산화 텅스텐 막은 낮은 작업 온도, 탁월한 선택도, 반응 및 복구의 짧은 시간 등의 장점을 가지고 있습니다.
텅스텐 삼산화물 후막 표면 개질 : 산 분해; 바인더를 첨가하여 삼산화 텅스텐 감응 재 슬러리를 얻는 단계; 인터 디지탈 전극 상에 인쇄 슬러리 및은 전극 실버 와이어 알루미나 기판, 공기 가열 소결; 가스 센서의 단열을 각각 수행한다. H2 및 공기 분위기로 처리하여 표면 개질 된 WO 3 후막 가스 센서. 이런 종류의 표면 개질 처리 후의 삼산화황 가스 센서는 1 ~ 200ppm의 CO를 고감도로 검출 할 수 있으며 반응 및 회수 시간이 짧기 때문에 실용적인 가치가 있습니다.
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