텅스텐 산화물 가스 센서

텅스텐 산화물 가스 센서

인해 가스와 상호 변화 재료는, 이들이 물리적, 화학적으로 반영 생물학적 영향이나 현상이 달라질의 형태로 가스 센서 많은 종류 때문에 분류 방법이 많이 존재 가스의 종류에 따라 분류 (산소에 민감한 장치, 알코올 센서 장치, 암모니아 성 장치 등)의 매트릭스 재료 (금속 산화물, 유기 고분자 반도체 형, 고체 전해질 형 등)에 따라 분류 타입이되고, 건조 (작업에있어서​​이 분류되고 습식 등), 분류 (저항성, 용량 성 입력 다이오드 특성, 트랜지스터 특성 주파수 형 전기의 작동 메커니즘이있어서되는 구조 (소결, 박막, 후막 형 등)에 따라서도 분류된다 유형 등).

WO3는 출력 신호가 가스 검출 목적의 변화에​​ 대응하도록 그 저항이 변화하는 가스와 접촉하는 N 형 금속 산화물 반도체 재료를 측정한다. H2S, 황산화물과 질소 산화물 등의 가스 WO3 개발을 위해 아주 좋은 전망이 좋은 선택도 및 감도 특성을 가지고 있습니다. WO3 박막 증착 기술과 해당 증착 변수 필름 가스 센서의 가스 센싱 특성에 큰 영향을 미친다. 열처리 중에 한편, 재료 막 재료 기술의 결함 밀도에 따라 필름 형성 조건이 다양 입자 크기도 변경이 삼산화 텅스텐 전기적 특성 및 가스 성 반응은 매우있다 큰 영향.