Wolframoxid-Oberflächenmodifikation

Die Oberflächenmodifizierung von Wolframoxid bezieht sich auf neue Oberflächeneigenschaften unter der Voraussetzung, dass die ursprüngliche Leistung von Wolframoxid oder seinen Produkten, wie hydrophilen, biokompatiblen, antistatischen und färbenden und anderen Eigenschaften, erhalten bleibt. Es gibt viele Berichte über Oberflächenmodifizierungsverfahren, die grob zusammengefasst werden können als Oberflächenchemikalienreaktion, Oberflächenpfropfverfahren und Oberflächenverbundverfahren und so weiter.

Wolframoxid-Film SEM-Foto

Oberflächenmodifizierung des Wolframtrioxidsensors

Wolfram-Trioxid-Gas-Sensor entsprechend der verschiedenen Dicke der Folie hat in der Regel zwei Formen von dünnen und dicken Film, und ihre Oberflächenmodifizierung Methoden sind auch unterschiedlich.

Oberflächenmodifizierung von Wolframtrioxid-Dünnfilm: Zuerst sauber Al2O3Substrat; Unter einer Argonatmosphäre, wobei jeweils Platin, Wolfram als Target (Zerstäubungswolframbedarf, Sauerstoff zuzusetzen) zum Sputtern von Wolframtrioxidfilm auf dem Substrat der Interdigitalelektrode verwendet wird; Dann nehmen Sie Target aus Titan, Nickel, Molybdän, Vanadium, Platin, Gold oder Palladium, um die Metallschicht unter einer Argonatmosphäre auf dem vorbereiteten Material zu sputtern WO 3 Dünnfilmschicht; Wärmebehandlung in der Luft, um einen Wolframoxid-Dünnfilm-Gassensor mit Oberflächenmodifizierung zu erhalten. Dieser oberflächenmodifizierte Wolframtrioxidfilm hat Vorteile einer niedrigen Arbeitstemperatur, einer ausgezeichneten Selektivität, einer kurzen Reaktions- und Wiedergewinnungszeit

Wolframtrioxid Dickschicht Oberflächenmodifikation: Acid Zersetzung; Zugabe eines Bindemittels, um eine Aufschlämmung des Wolframtrioxid-empfindlichen Materials zu erhalten; Druck-Aufschlämmung auf der Interdigitalelektrode und ein Silberelektroden-Silberdraht-Aluminiumoxid-Substrat, Luft-Wärme-Sintern; Führen Sie eine Wärmedämmung des Gassensors unter H2 Und Luftatmosphäre, um eine oberflächenmodifizierte Oberfläche zu erzeugen WO 3 Dickschicht-Gassensoren. Diese Art von Wolframtrioxid-Gassensor nach der Oberflächenmodifizierungsbehandlung weist eine hohe Empfindlichkeitsdetektion bei 1 ~ 200 ppm CO auf, mit kurzer Reaktions- und Wiedergewinnungszeit, um so einen wichtigen praktischen Wert zu haben.

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